e公司讯，光刻机概念集体高开。张江高科、同飞股份、海立股份竞价涨停，富乐德、蓝英装备涨超10%，东方嘉盛、国林科技、京华激光、凯美特气。波长光电等涨超5%。消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下，“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。