江苏先导首台12寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
来源:人民财讯 作者:刘良文 2026-07-31 11:54
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人民财讯7月31日电,据先导科技集团,7月30日,江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备,在江苏徐州高新区生产基地完成设备组装、联调,成功通过自动化与工艺验证,正式交付国内头部晶圆厂,标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现了从研发、制造到产业化交付的重要突破。

责任编辑: 郑灶金
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