人民财讯8月10日电，近日，芯上微装自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200）顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并获得批量重复订单。

AST6200光刻机可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及Micro LED新型显示等制程场景。