中微公司推介两款高端半导体微观加工设备新品
来源:人民财讯 作者:阮润生 2026-10-14 19:36
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人民财讯10月14日电,10月14日,中微公司在2026湾芯展推介最新发布的两款高端半导体微观加工设备——Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™ AM 12英寸ALD钼设备。据介绍,中微公司五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备,助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件和300层到500层以上及更先进的存储器件的需求。

责任编辑: 赖小风
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